一.用途
無(wú)塵烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅(jiān)膜硬烘（Hard baking)等工藝，適用半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機(jī)構(gòu)。
二．特點(diǎn)：
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵；
3.采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避
免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE；
4.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國(guó)進(jìn)口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送
風(fēng)，過(guò)濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門)
三．產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)
1.名稱及型號(hào)：無(wú)塵烘箱 COL-2D-A
2.主要技術(shù)指標(biāo)：
2.1無(wú)塵等級(jí)：Class 100;
2.2溫度范圍：常溫+25～ 200℃,
2.3溫度均勻度：±1.5%（空載）
2.4溫度波動(dòng)度：±0.5℃（空載）
2.5溫控精度：±0.1℃;
2.6烘箱擱板為活動(dòng)形式。
2.7工作尺寸：W1110×H630×D720（兩箱式）
外形尺寸：W1980×H1975×D1545
2.8電源：380v , 50Hz，24Kw
3、箱體結(jié)構(gòu)：
3.1烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成，結(jié)構(gòu)合理，外觀美觀大方；
3.2全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器，防機(jī)臺(tái)本身產(chǎn)生微塵；
3.3箱體材料：外箱采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵；
3.4內(nèi)膽材料：采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免
烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE；
3.5中桶材料：采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及氬
焊密封加工(防污染)。
4、溫控系統(tǒng)
4.1溫控器：韓國(guó)三元SP790溫控儀表
程式編輯：可編30個(gè)程式，每個(gè)程式最大可編300段.
顯示清晰直觀，可編程控制系統(tǒng)操作靈活方便，性能穩(wěn)定，工作更高效
4.2溫度測(cè)量：采用特制鍇裝鉑電阻。
4.3輸出被控制組件：SSR無(wú)接點(diǎn)訊號(hào)輸出。
5、完善的安全保護(hù)措施：漏電斷路器//控制線路保險(xiǎn)絲裝置//超溫防止保護(hù)裝置//電熱過(guò)電流保護(hù)裝//馬達(dá)過(guò)電流保護(hù)//機(jī)臺(tái)異常蜂鳴器警示//逆向防止器//門面安全開(kāi)關(guān)
